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  • 商品名称: 尘埃粒子计数器高压气体扩散器
  • 商品编号: HUAYU201200091

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尘埃粒子计数器高压气体扩散器

 

设计采用了最新的技术,在高压气体成分,允许粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。压缩空气装置采用316L不锈钢材料设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收-采样过程中使用100%的供气。

 

特征

优点

应用

  • 可用于任何惰性气体
  • 轻松设置
  • 安装简单
  • 前置流计
  • 直观的用户控制
  • 安静的操作
  • 快速清除和清理
  • VCR接头内部和外部
  • 不锈钢结构
  • 在正常操作过程中的零气体废物
  • 近常压输出
  • 低噪声
  • 小尺寸
  • 便于系统集成
  • 1年保修的
  • 较低的拥有成本
  • 工艺鉴定
  • 半导体制程监控
  • 平板过程监控
  • 过程趋势分析

规格

粒径范围

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

输出压力

接近大气压

输入压力

30-150 psi

兼容气体

氮,氩气,氦气

运行噪音

<60 db

外壳

不锈钢

材质

316L 不锈钢

尺寸

150*220*185

重量

2.7 kg

配件

随机配件

采样管; VCR密封件;螺帽;套圈

可选件

备用采样管;过滤器 (0.5μm, 3μm, 5μm, 10μm)