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HPC1100高压控制器

产品名称:高压控制器

产品型号:HPC1100

品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯

采样流量:28.3L/min

粒径范围:0.1μm 或更大

流速:1.0 CFM

输出压力:接近大气压

输入压力:30-150 psi

尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm


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产品特色
应用范围
技术参数


HPC1100高压控制器


产品概述

  1. 产品名称:高压控制器
  2. 产品型号:HPC1100
  3. 品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯
  4. 采样流量28.3L/min
  5. 粒径范围:0.1μm 或更大
  6. 流速:1.0 CFM
  7. 输出压力:接近大气压
  8. 输入压力:30-150 psi
  9. 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm

 

设计采用了新技术, 在高压气体成分,HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。

HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收采样过程中使用100%的供气。

 

 

 

 

 

 

 

产品特色

特征

优点

应用

  • 可用于任何惰性气体
  • 轻松设置
  • 安装简单
  • 前置流计
  • 直观的用户控制
  • 安静的操作
  • 快速清除和清理
  • VCR接头内部和外部
  • 不锈钢结构
  • 在正常操作过程中的零气体废物
  • 近常压输出
  • 低噪声
  • 小尺寸
  • 便于系统集成
  • 2年保修的
  • 较低的拥有成本

 

  • 工艺鉴定
  • 半导体制程监控
  • 平板过程监控
  • 过程趋势分析

 

 

主要技术参数及性能:

粒径范围

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

输出压力

接近大气压

输入压力

30-150 psi

兼容气体

氮,氩气,氦气

运行噪音

<60 db

外壳

不锈钢

材质

316L 不锈钢

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

随机配件

采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽;套圈

可选件

备用采样管; 14英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)

 

 

 

 

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