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HPC1100高压控制器


产品名称:高压控制器<br><br> 产品型号:HPC1100<br><br> 品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯<br><br> 采样流量:28.3L/min<br><br> 粒径范围:0.1μm 或更大<br><br> 流速:1.0 CFM<br><br> 输出压力:接近大气压<br><br> 输入压力:30-150 psi<br><br> 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm<br><br><br>

  • 产品描述
  • 产品特色
  • 应用范围
  • 技术参数
    • 商品名称: HPC1100高压控制器
    • 商品编号: HPC1100

    产品名称:高压控制器<br><br> 产品型号:HPC1100<br><br> 品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯<br><br> 采样流量:28.3L/min<br><br> 粒径范围:0.1μm 或更大<br><br> 流速:1.0 CFM<br><br> 输出压力:接近大气压<br><br> 输入压力:30-150 psi<br><br> 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm<br><br><br>


    HPC1100高压控制器


    产品概述

    1. 产品名称:高压控制器
    2. 产品型号:HPC1100
    3. 品牌:LIGHTHOUSE美国莱特浩斯
    4. 采样流量28.3L/min
    5. 粒径范围:0.1μm 或更大
    6. 流速:1.0 CFM
    7. 输出压力:接近大气压
    8. 输入压力:30-150 psi
    9. 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm

     

    设计采用了新技术, 在高压气体成分,HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。

    HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收采样过程中使用100%的供气。

     

     

     

     

     

     

     

    产品特色

    特征

    优点

    应用

    • 可用于任何惰性气体
    • 轻松设置
    • 安装简单
    • 前置流计
    • 直观的用户控制
    • 安静的操作
    • 快速清除和清理
    • VCR接头内部和外部
    • 不锈钢结构
    • 在正常操作过程中的零气体废物
    • 近常压输出
    • 低噪声
    • 小尺寸
    • 便于系统集成
    • 2年保修的
    • 较低的拥有成本

     

    • 工艺鉴定
    • 半导体制程监控
    • 平板过程监控
    • 过程趋势分析

     

     

    主要技术参数及性能:

    粒径范围

    0.1μm 或更大

    流速

    1.0 CFM

    输出压力

    接近大气压

    输入压力

    30-150 psi

    兼容气体

    氮,氩气,氦气

    运行噪音

    <60 db

    外壳

    不锈钢

    材质

    316L 不锈钢

    尺寸

    5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

    重量

    6 lbs (2.7 kg)

    随机配件

    采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽;套圈

    可选件

    备用采样管; 14英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)

     

     

     

     

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